等离子体处理方法和老化结束检测方法以及等离子体处理装置

摘要

在现有的分析数据中，作为老化结束的判断基准的变化因老化而发生变化，即难于辨别是基于处理容器内的状态变化而变化，还是基于各个伪晶片间的温度变化而变化，进而难于判断老化是否结束。因此，本发明的等离子体处理方法，向等离子体处理装置(1)的处理容器(2)内提供伪晶片W，检测进行老化时的老化结束。其具有：向处理容器(2)内供给伪晶片W，在冷却处理容器(2)内之后，使用在向处理容器(2)内再次供给多个伪晶片W时得到的多个测量数据，来进行多变量分析，形成预测老化结束的预测式的步骤；基于该预测式，检测进行老化时的老化结束的步骤。