电极基板及其制造方法、静电致动器、液滴喷吐头

摘要

本发明提供一种可以在电极基板上以简易的工序高精度地形成各种形状的凹部的电极基板的制造方法以及电极基板、静电致动器、液滴喷吐头、液滴喷吐装置。本发明的电极基板的制造方法，具有：通过在玻璃基板(4a)上冲压接触压模来冲压成形，形成凹部(41)的第1工序，和在凹部(41)的底面上设置电极(42)的第2工序。优选上述冲压成形是在将所述基板加热到350～800℃的温度的状态下进行的。优选构成玻璃基板(4a)的玻璃的热膨胀系数为20×10^-7～90×10^-7℃^-1。