基于三点法的杂交四点法回转误差、圆度误差计算方法

摘要

基于三点法的杂交四点法回转误差、圆度误差计算方法，先用四个位移传感器在不同周向位置上测量径向跳动，然后将四路信号分为三组，对每组使用三点法误差分离技术，圆度误差的各阶谐波傅立叶系数均可得到三组估计值，针对每阶谐波，均选取传递矩阵行列式值最大的那组，确定为最终圆度误差的该阶傅立叶系数计算值；根据确定的各阶傅立叶系数，通过逆傅立叶变换，得到最终的圆度误差估计值；用径向跳动测量值与圆度误差估计值作差，得到主轴在该方向的回转误差估计值；本发明可更加准确、稳定地分离圆度误差和回转误差，既能实时在线监测，又对传感器间夹角具有更好的包容性。