法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-12-28
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/306 变更前: 变更后: 申请日:20030326
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2009-07-15
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090605 申请日:20030326
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
2008-02-06
授权
授权
2005-09-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-20
公开
公开
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