用于LCD光学窗口的多功能膜层

摘要

采用离子束辅助沉积方法进行膜层的制备;选用合适的色散模型,利用包络法和椭偏仪对制备薄膜的光学常数进行拟合;利用单纯形调优数值优化法对膜系进行优化.对制各的多功能膜层进行相关测试,结果表明:反射率平均低于0.8％,屏蔽层方阻为14Ω/口,膜层附着力和耐摩性能符合相关规定.所研制的多功能膜层,性能指标满足要求.