一种低g值光栅式MEMS加速度计

摘要

一种低g值光栅式MEMS加速度计，包括玻璃底座，玻璃底座一侧连接有LED光源，另一侧外部连接玻璃盖板，玻璃底座和玻璃盖板之间封装有MEMS芯片，MEMS芯片上的弹簧质量系统悬空设置，玻璃盖板连接有光电检测器；弹簧质量系统为一体加工，包括质量块固定框架以及质量块，质量块一端两侧通过弹簧和质量块固定框架连接，质量块另一端一侧通过弹簧和质量块固定框架，质量块通过弹簧支撑而悬空；质量块上刻有指示光栅，玻璃盖板上刻有标尺光栅，两光栅呈一个小角度，LED光源通过玻璃底座照射到指示光栅和标尺光栅上产生莫尔条纹，弹簧质量系统将加速度信号转移到光栅的位移变化上，通过检测莫尔条纹的变化从得到加速度，本发明具有超低g值检测、高灵敏度的优点。