光学裸片对数据库检查

摘要

本发明提供用于检测晶片上的缺陷的方法及系统。一个系统包含一或多个计算机子系统，其经配置以基于用于印刷于所述晶片上的设计的信息而产生呈现图像。所述呈现图像是由光学检查子系统针对印刷于所述晶片上的所述设计产生的图像的模拟。产生所述呈现图像包含一或多个步骤，且所述计算机子系统经配置用于通过执行生成模型而执行所述一或多个步骤中的至少一者。所述计算机子系统还经配置用于比较所述呈现图像与所述晶片的由所述光学检查子系统产生的光学图像。使用主掩模将所述设计印刷于所述晶片上。另外，所述计算机子系统经配置用于基于所述比较的结果检测所述晶片上的缺陷。