公开/公告号CN108315702B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN201810110030.6
申请日2018-02-05
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/54(20060101);
代理机构44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人赵勍毅
地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2022-08-23 10:47:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-10
授权
授权
2018-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20180205
实质审查的生效
2018-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180205
实质审查的生效
2018-07-24
公开
公开
2018-07-24
公开
公开
2018-07-24
公开
公开
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