基于非对称静电屏蔽效应的自供能气体传感器及制备方法

摘要

本发明提供了一种基于非对称静电屏蔽效应的自供能气体传感器，属于传感器技术领域。本发明包括设于测试腔内部的多叶扇形结构的摩擦转子和双电级结构金属圆盘，摩擦转子靠近进气口设置在气流作用下转动与金属圆盘上电极形成接触‑分离循环，并且基于气敏薄膜吸附待测气体在双电级上产生非对称静电屏蔽效应，进而根据器件输出电压测得待测气体浓度。本发明相比现有气体传感器，无需外部供电系统，实现自发、实时监测待测气体的浓度，并且输出性能稳定，降低了由于器件本身输出不稳定造成的测量误差，另外，本发明气体传感器结构新颖、成本低廉且制备工艺简单，有利于实现商业化，为自供能气体传感器的研究提供了新的发展方向。