纳米超晶格结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法

摘要

本发明公开了一种纳米超晶格结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法，涉及新材料技术领域中一种超硬复合膜刀具及其沉积方法，具体地说，涉及工作靶的设置及靶材成分。本发明在真空室(4)中共设置有内靶、中靶、外靶；沉积步骤有：①沉积过渡层；②沉积纳米超晶格结构超硬膜TiAlN/TiAlYN/TiAlN/CrN；③沉积表面自润滑膜。按本发明沉积出的纳米超晶格结构超硬膜，具有较高的显微硬度和耐氧化性，大大超过了常规的刀具涂层的性能。本发明是一套完整的刀具优质涂层镀膜方法，它将起粘附作用的过渡层、主耐磨层和表面自润滑层非常完美地结合起来，使这种刀具优质涂层能适应现代制造业对金属切削刀具非常苛刻的技术要求，提高了高档刀具的使用寿命。