基于氧化物的三端子电阻式开关逻辑器件

摘要

描述了基于氧化物的三端子电阻式开关逻辑器件和制造基于氧化物的三端子电阻式开关逻辑器件的方法。在第一示例中，三端子电阻式开关逻辑器件包括设置在衬底上方的活性区。活性区包括直接设置在金属源极区和金属漏极区之间的活性氧化物材料区。器件还包括设置在活性氧化物材料区上方的栅极电极。在第二示例中，三端子电阻式开关逻辑器件包括设置在衬底上方的活性区。活性区包括从第二氧化物材料区间隔开的第一活性氧化物材料区。器件还包括设置在第一和第二活性氧化物材料区的任一侧上的金属输入区。金属输出区设置在第一和第二活性氧化物材料区之间。