具有改进的相位检测像素的BSI CMOS图像传感器

摘要

改进的背照式(BSI)互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器和相关联的方法改进相位检测能力。BSI CMOS图像传感器具有包括相位检测像素(PDP)、由埋藏式滤色镜阵列和复合金属/氧化物格栅形成的复合格栅、和对应PDP的光电二极管植入的像素阵列。PDP掩膜被与邻近PDP的深槽隔离(DTI)结构一起制造，并被布置为掩盖光电二极管植入的至少部分，使得PDP掩膜被布置于复合格栅和光电二极管植入之间。