离子束辅助沉积铂膜的成型模具

摘要

本发明是离子束辅助沉积铂膜的成型模具，属于真空蒸发、溅射及离子注入膜层形成材料涂覆的技术领域，它是在成型模具基体上用离子束辅助沉积形成3—20微米的铂膜，用氮或惰性气体作为清洗和轰击离子源的放电气体，用惰性气体作为溅射离子源的放电气体。用本发明的工艺可制得抗高温氧化和抗熔融玻璃腐蚀性能优异的成型模具，延长了模具的寿命，降低了生产成本，保证了稳定生产，并使产品质量大大提高。