公开/公告号CN100564583C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-12-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200710046884.4
申请日2007-10-10
分类号C23C14/46(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/54(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:03:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/46 授权公告日:20091202 终止日期:20121010 申请日:20071010
专利权的终止
2009-12-02
授权
授权
2008-04-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-27
公开
公开
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