自由曲面非接触降维误差分离检测方法与装置

摘要

本发明属于光学精密检测技术领域，涉及自由曲面非接触降维误差分离检测方法与装置，可用于自由曲面零件形貌的纳米精度检测。该方法采用高精度平面平晶作为基准反射镜，减少X向和Y向气浮导轨直线度对自由曲面表面轮廓高精度检测的影响，从而降低三坐标测量机的21项误差；采用非接触式高度测量传感器，快速采集自由曲面表面轮廓的高度信息。采用具有三点支撑结构的球面气浮工作台调整被测自由曲面零件姿态的方法，通过调整自由曲面零件姿态，提高自由曲面零件轮廓的倾角检测范围。该装置包括：主动气浮隔震弹簧、气浮隔振基座、X向气浮导轨、Y向气浮导轨、龙门架、非接触式高度测量传感器、激光干涉位移测量镜组、Z向气浮导轨、自由曲面样品姿态调整装置、参考平晶姿态调整装置、激光干涉仪。