一种复合纳米压印光刻机及工作方法

摘要

本发明公开了一种复合纳米压印光刻机及工作方法，它解决了压印图形存在较大的变形，压印精度低，压印质量差的问题，利用辊轮、复合软模具、工作台的密切配合，在正负压共同和协同作用下，高效自动完成大面积压印和揭开式脱模，实现对超大尺寸刚性衬底的大面积微纳米图形化。其技术方案为：包括底座，所述底座上固定工作台，所述工作台的移动台面上设置真空吸盘，真空吸盘真空吸附着基材，基材上均匀涂铺压印材料；基材上方对应配合设置有压印模组，所述压印模组包括压印组件和固化组件，所述压印组件包括辊轮，所述辊轮外表面真空吸附着复合软模具，所述辊轮外表面包覆弹性材料层，所述复合软模具与辊轮接触的一侧设置柔性材料层。