一种激光焊接中等离子体羽辉微粒子成分的质谱分析装置

摘要

本发明公开了一种激光焊接中等离子体羽辉微粒子成分的质谱分析装置，属于质谱分析技术领域。包括微粒子取样单元以及真空腔体系统，所述微粒子取样单元包括，同轴设置的取样锥、截取锥以及准直锥，所述取样锥、截取锥以及准直锥将真空腔体系统依次分隔为取样室，截取室以及离化采样室，所述取样室连接冷却系统和机械真空泵，所述截取室连接真空泵组A，所述离化采样室连接真空泵组B，激光电离装置位于离化采样室外侧，所述离化采样室内部依次设有离子提取系统、质量分析器以及离子探测器。本申请针对激光焊接过程中产生的羽辉的光谱信息的认识和理解上，进一步对其微粒子的成分准确而深入的认识和判断。