一种有效提升高频性能的氮化镓器件制作流程

摘要

本发明公开了一种有效提升高频性能的氮化镓器件制作流程，属于氮化镓制作领域。一种有效提升高频性能的氮化镓器件制作流程，包括如下步骤：A、按照传统的制程在镓化物基板上沉积第一道介电层、源极、闸极和汲极，接着沉积第二道介电层，然后在闸极处的第二道介电层的上方沉积源场板。它可以实现在闸极与源场板间创造空气间隙，空气是具有最小介电系数的材料，空气间隙可以减少闸极与源极之间的电容，以提升高频效能，提升最大的截止频率以及最大的震荡频率，且在制作氮化镓器件的过程中不需任何特殊复杂的制程，就可以在相同频率下达到高功率增益，或是在同样的功率增益下达到更高的操作频率，同时保有源场板的好处。