13.5nm极紫外滤波器的制作方法

摘要

一种13.5nm极紫外滤波器的制作方法，包括下列步骤：1)加工一个铝框架，将无定形碳薄膜黏附在该铝框架上，该无定形碳薄膜的厚度为0.1～1μm；2)将所述的铝框架放入在真空镀膜机中，采用硅单晶作镀膜材料，在所述的无定形碳薄膜上真空蒸镀一层硅单晶薄膜，其厚度为0.1～0.2μm，即构成13.5nm极紫外滤波器。将制成的滤波器放置在真空室内，使镀硅膜的滤波器的那一面的法线和来自于极紫外光源的极紫外线成85°掠入射角，掠出射的极紫外线中，无论是长于或短于13.5nm的其余极紫外光线将被滤去，13.5nm的极紫外线的透过率将高达70%。