法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-22
授权
授权
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B13/04 申请日:20161205
实质审查的生效
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 13/04 申请日:20161205
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
2017-05-31
公开
公开
机译: 基于动态预测热模型的高温升温速率晶圆温度轨迹控制方法
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