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具有对流和辐射加热的熔炉

摘要

本发明涉及用于控制至少一个基板(102)的温度的熔炉,特别是连续式熔炉。熔炉的外壳(100)包括进风口(103)和出风口(104),其中,在进风口(103)与出风口(104)之间形成温度控制部(105)。用于承载所述至少一个基板(102)的载体元件(120)可沿着运输方向(101)移动通过进风口(103)进入温度控制部(105)且从温度控制部(105)通过出风口(104)。温度控制元件(106)热联接到温度控制部(105)以便控制温度控制部(105)的温度。所述温度控制部(105)包括进气口(108),气体(110)可通过该进气口吹送以便控制温度控制部(105)的温度。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-15

    授权

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  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):F27B9/10 申请日:20140925

    实质审查的生效

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):F27B 9/10 申请日:20140925

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    公开

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  • 2017-08-29

    公开

    公开

  • 2017-08-29

    公开

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