粒子束设备和用于运行粒子束设备的方法

摘要

本发明涉及一种粒子束设备和一种用于运行粒子束设备的方法。所述粒子束设备具有柱，所述柱具有用于产生粒子束的粒子束光学器件，以便通过所述粒子束光学器件在真空样品室中在曝光运行中曝光所期望的图案。通过气体供给系统在清洁运行中给所述柱和/或所述真空样品室供给具有可光解的气体的可调节气流。借助在空间上分布地布置在所述柱中和/或所述真空样品室中的多个光源在所述清洁运行中引起所供给的气体的光解。在所述清洁运行中，通过与所述光源连接的控制单元可在时间上选择性地接通和关断各个光源，以便有针对性地清洁所述柱中和/或所述真空样品室中的各个元件。