公开/公告号CN104932210B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-01
原文格式PDF
申请/专利权人 东友精细化工有限公司;
申请/专利号CN201510124654.X
申请日2015-03-20
分类号
代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司;
代理人黄志华
地址 韩国全罗北道
入库时间 2022-08-23 10:42:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-01
授权
授权
2016-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/42 申请日:20150320
实质审查的生效
2016-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20150320
实质审查的生效
2015-09-23
公开
公开
2015-09-23
公开
公开
机译: 光阻剥离剂组成,以及采用相同的光阻剥离方法
机译: 光阻剥离剂组成,以及采用相同的光阻剥离方法
机译: 基于近红外光谱仪的光阻剥离过程控制及光阻剥离剂的再生方法