一种耐蚀性可调控的镁合金表面多级纳米涂层的制备方法

摘要

一种耐蚀性可调控的镁合金表面多级纳米涂层的制备方法，包含以下步骤：镁合金除氢、PE‑ALD工作腔准备、多级纳米涂层的制备、PE‑ALD工作腔还原。多级纳米涂层由单级纳米涂层单次或多次叠加构成，叠加次数N即为级数；其单级纳米涂层为TiN_x(X=0.5~2.0）/TiO₂。本发明所制备的涂层具有在任意形状表面（二维或三维）形成化学计量比精确、覆盖性好、厚度精准涂层，涂层的耐蚀性可调控，涂层材料对人体无毒、无害，除用于镁及镁合金耐蚀性调控外，还可以用于其它骨植入物活泼金属材料表面耐蚀性调控。