基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片

摘要

一种微电子技术领域的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析高效检测芯片，其中，玻璃层与聚二甲基硅氧烷层通过键合密封在一起，在聚二甲基硅氧烷层上设有试剂样品输入口、试剂样品输出口，玻璃层上设有各个通道起点、通道终点，试剂样品输入口、试剂样品输出口分别与各个通道起点、通道终点相对应，陶瓷压电阀进样控制器在聚二甲基硅氧烷层的外侧，芯片固紧夹具系统将陶瓷压电阀进样控制器紧密贴合在键合后聚二甲基硅氧烷层一侧，芯片固紧夹具系统同时将芯片固定在底座上，超声生物试剂混合系统嵌入粘贴在聚二甲基硅氧烷层，其下方为玻璃层，玻璃层外侧为集成温控反应系统。本发明不仅大大减小了器件体积，降低了成本，也使其批量化加工成为可能。