法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-01
授权
授权
2019-07-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/41 申请日:20190306
实质审查的生效
2019-07-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/41 申请日:20190306
实质审查的生效
2019-06-18
公开
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2019-06-18
公开
公开
2019-06-18
公开
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机译: 一种用于生产光学辅助用药的基质的设备,一种用于光学辅助用药的基质的制造方法,利用它们的方法,一种用于制造光学辅助用药的介质以及一种用于制造光学辅助剂的方法,利用它们。
机译: 利用光学邻近校正曝光图案的曝光方法,用于产生光学邻近校正曝光数据的设备和用于光学邻近校正曝光数据的曝光设备
机译: 利用光学邻近校正曝光图案的曝光方法,用于产生光学邻近校正曝光数据的设备和用于光学邻近校正曝光数据的曝光设备