公开/公告号CN106876460B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-01
原文格式PDF
申请/专利号CN201510926288.X
发明设计人 张海洋;
申请日2015-12-11
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人蔡杰赟
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:42:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-01
授权
授权
2017-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/78 申请日:20151211
实质审查的生效
2017-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20151211
实质审查的生效
2017-06-20
公开
公开
2017-06-20
公开
公开
2017-06-20
公开
公开
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