公开/公告号CN106311681B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 上海和辉光电有限公司;
申请/专利号CN201510341886.0
发明设计人 胡友元;
申请日2015-06-18
分类号
代理机构上海申新律师事务所;
代理人吴俊
地址 201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
入库时间 2022-08-23 10:42:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-25
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B7/00 变更前: 变更后: 申请日:20150618
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2019-10-29
授权
授权
2019-10-29
授权
授权
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B7/00 申请日:20150618
实质审查的生效
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B7/00 申请日:20150618
实质审查的生效
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 7/00 申请日:20150618
实质审查的生效
2017-01-11
公开
公开
2017-01-11
公开
公开
2017-01-11
公开
公开
查看全部
机译: 掩膜版划分方法,掩膜版划分装置和掩膜版划分程序
机译: 异物或不良品检测装置,异物或不良品清除装置,异物或不良品检测方法,异物或不良品清除方法
机译: 粒状体异物的检查方法,粒状体异物的检查装置,粒状体异物的清除方法及粒状体异物的清除装置