首页> 中国专利> 一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法

一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法

摘要

本发明涉及扫描隧道显微镜领域,尤其涉及一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法。包括探针塔、溶液槽、溶液塔和可测定行进距离的驱动部件,所述驱动部件与所述探针塔连接,所述溶液槽设置在所述探针塔下方,待腐蚀银丝一端固定设置在所述探针塔上,所述待腐蚀银丝另一端可解除插设在所述溶液塔内,所述探针塔内部设置有定值电阻,所述定值电阻与待腐蚀银丝连接,所述定值电阻并联设置有微控板。驱动部件驱动探针塔向溶液塔移动,微控板检测定值电阻的电压不等于0时,驱动部件停止行进,探针塔做往复伸缩,待腐蚀银丝进行腐蚀,微控板检测定值电阻的电压小于等于最小电压值时,溶液塔和探针塔停止工作,驱动部件退回,腐蚀结束。

著录项

  • 公开/公告号CN107045074B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN201710370403.9

  • 发明设计人 张敬涵;孙文博;

    申请日2017-05-23

  • 分类号

  • 代理机构北京轻创知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨立

  • 地址 100084 北京市海淀区清华园

  • 入库时间 2022-08-23 10:42:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-29

    授权

    授权

  • 2017-09-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/16 申请日:20170523

    实质审查的生效

  • 2017-09-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/16 申请日:20170523

    实质审查的生效

  • 2017-08-15

    公开

    公开

  • 2017-08-15

    公开

    公开

  • 2017-08-15

    公开

    公开

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