公开/公告号CN100352031C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-11-28
原文格式PDF
申请/专利权人 三益半导体工业株式会社;
申请/专利号CN03824698.8
申请日2003-05-13
分类号H01L21/68(20060101);B65G49/06(20060101);B65G49/07(20060101);B65H3/08(20060101);B65H3/48(20060101);B65G59/04(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人刘建
地址 日本国群马县群马郡
入库时间 2022-08-23 08:59:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/68 授权公告日:20071128 终止日期:20190513 申请日:20030513
专利权的终止
2007-11-28
授权
授权
2007-11-28
授权
授权
2006-04-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-04-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-11-09
公开
公开
2005-11-09
公开
公开
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