法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/677 申请公布日:20111207 申请日:20100112
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20100112
实质审查的生效
2011-12-07
公开
公开
机译: 晶片分离装置,晶片分离输送装置,太阳能电池用晶片分离方法,晶片输送方法以及分离晶片分离输送方法
机译: 晶片分离装置,晶片分离输送设备,太阳能电池的晶片分离方法,晶片输送方法以及分离晶片分离输送方法
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