含钴掺杂二氧化硅纳米复合磨粒溶胶、抛光液及其制备方法

摘要

本发明提供了一种含钴掺杂二氧化硅纳米复合磨粒溶胶，由质量百分数为0.43 wt%的硝酸钴溶液和2.5 wt%的硅酸溶液按1:1的质量比，同时加入1 wt%氢氧化钠，通过共沉淀法沉淀在二氧化硅晶种上反应制成，所述的溶胶中的纳米复合磨粒呈均匀球形，所述的含钴掺杂二氧化硅纳米复合磨粒溶胶中的氢氧化钴掺杂量为0.1 wt%‑5 wt%。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石基片进行抛光，可以有效地提高蓝宝石表面去除率，降低蓝宝石表面的粗糙度。