含铈掺杂二氧化硅纳米复合磨粒溶胶、抛光液及其制备方法

摘要

本发明提供了一种含铈掺杂二氧化硅纳米复合磨粒溶胶，由质量百分数为0.4 wt%的硝酸铈铵溶液和2.5 wt%的硅酸溶液按2:1的质量比，同时加入与铈离子摩尔比为2:1的尿素作为沉淀剂，通过共沉淀法沉淀在二氧化硅晶种上反应制成，所述的溶胶中的纳米复合磨粒呈均匀球形，所述的溶胶中的氧化铈掺杂量为0.5 wt%-1.5 wt%。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石和硅片进行抛光，可以有效地提高被抛基片表面去除速率，降低表面粗糙度。