谐振式扫描镜幅值测量系统及方法

摘要

本发明属于微光机电(MOEMS)领域，具体涉及一种谐振式扫描镜幅值测量系统及方法。系统包括激光器、用于固定激光器及待测扫描镜的工装夹具、光敏固定标尺及设置在光敏固定标尺上的至少2个光电探测器；激光光线入射至待测扫描镜中心；入射光线经待测扫描镜反射形成扫描路径；多个光电探测器捕捉反射光线产生标志各自位置的电信号；依据步骤三得到的电信号及各光电探测器的位置关系计算得到待测扫描镜的振动幅值。利用多个光电探测器测量，使得系统测量量减小，解决利用光电探测器测算待测扫描镜的幅值时，测量精度低的问题。