可控膜厚分布的线型或平面型蒸发器

摘要

本发明涉及一种可控膜厚分布的线型或平面型蒸发器，尤其是一种利用具有一定图案的狭缝在位于蒸发器上方的基板上蒸发和沉积源材料的线型或平面型蒸发器，包括：由一个纵向延伸到预定距离的细长筒体形成的以容纳待沉积材料的坩埚；和沿坩埚纵向形成在坩埚顶表面上且其面积小于坩埚截面面积的一个狭缝或独立设置的一个狭缝，由此通过沿垂直于坩埚纵向的方向移动基板进行薄膜沉积。从而，沉积的薄膜具有提高了的膜厚分布均匀性和期望的图案。