一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统及方法

摘要

本发明提供了一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统及方法，属于光学元件吸收缺陷的损伤特性测试领域。所述光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统包括光热弱吸收测试装置、损伤测试光源以及损伤监测显微镜。所述光热弱吸收测试装置用于测试待测光学元件的吸收缺陷对泵浦光的吸收值。所述损伤测试光源用于发出损伤测试激光作用于所述待测光学元件的所述吸收缺陷处。所述损伤监测显微镜用于获取所述待测光学元件的所述吸收缺陷在所述损伤测试激光的作用下的损伤特性。因此，本发明可以有效地实现对待测光学元件吸收缺陷的损伤性能的表征，进而获得待测光学元件的吸收缺陷的吸收水平与损伤特性的定量关系。