用无机盐原料液相化学法制备双轴织构CeO₂薄膜工艺

摘要

本发明公开了属于超导薄膜材料制备技术范围的一种用无机盐原料液相化学法制备双轴织构CeO₂薄膜工艺。首先对无机盐和有机溶剂进行脱水预处理，配制涂覆液，在基底上涂覆CeO₂薄膜，经过热解和烧结后得到双轴织构CeO₂薄膜。双轴织构的CeO₂薄膜由于其良好的晶格匹配性和化学稳定性，以及阻挡氧扩散的能力，是一种优良的缓冲层材料，在超导涂层导体及燃料电池、催化、光学领域有着诱人的应用前景。本发明对于利用我国丰富的无机盐资源制备CeO₂薄膜，发展功能薄膜具有重要的实用价值。