一种核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料的制备方法。所述方法首先利用真空物理气相沉积技术在基底上制备Cr过渡层及Cu薄膜，再在室温下将基底置于含有NaOH和(NH₄)₂S₂O₈的混合液中得到具有一维纳米结构的Cu(OH)₂薄膜材料，然后经热处理得到具有一维纳米结构的CuO薄膜材料，最后利用物理气相沉积技术，将纳米Al包覆至CuO一维纳米结构上得到核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料。本发明制备过程中温度限制在200℃以下，相较现有的采用的≥450℃高温处理过程，能耗显著降低，并且制得核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料能与后端CMOS工艺相兼容，制备过程重复性好。