一种基于热膨胀气流的MEMS三轴惯性传感器及其加工方法

摘要

本发明公开了一种基于热膨胀气流的MEMS三轴惯性传感器及其加工方法。该MEMS三轴惯性传感器，包括：由上盖和PCB基板围成的密封腔体，密封腔体内的PCB基板上设置有MEMS芯片，MEMS芯片通过PCB基板与密封腔体外的检测电路电连接；MEMS芯片的中心位置处设置有检测腔，检测腔的正上方悬挂有加热元件，检测腔的边缘设置有相对加热元件呈中心对称的多组热敏组件，每组热敏组件包括对称设置的两个热敏元件，每个热敏元件的两端为自由端。本发明通过将热敏元件的两端设置为自由端，使得热敏元件在通电工作后，可以充分释放热应力，降低压阻效应的影响，提高MEMS三轴惯性传感器的线性度和灵敏度。