一种悬丝式可变刚度微纳测头

摘要

本发明一种悬丝式变刚度微纳测头包括：测头、测杆、中间连接体、电容上极板、电容下极板、环形记忆合金、压电陶瓷芯片、固定基座、悬丝、动平台、电容数字转换器、工控机。所述中间连接体通过悬丝固定于动平台中心；所述环形记忆合金通过螺钉固定于动平台；所述悬丝一端连接中间连接体，另一端连接环形记忆合金；所述固定基座通过焊接固定于动平台；所述压电陶瓷芯片固定于环形记忆合金和固定基座之间；所述测杆安装在中间连接体中心。本发明通过压电陶瓷芯片的压电效应，对环形记忆合金产生横向压力，使环形结构产生形变，从而改变悬丝的张紧程度，进而改变悬挂机构的刚度和灵敏度，以满足不同工况下对工件的测量要求。