一种脉宽双加矩型加速度传感器电路

摘要

本发明公开了一种脉宽双加矩型加速度传感器电路，它包括表头和闭环反馈控制电路，其中，所述闭环反馈控制回路包括差分电容检测电路、数字控制电路、脉宽双加矩反馈回路；所述差分电容检测电路与表头的差分电容传感器相连；数字控制电路接收差分电容检测电路输出的电压量，将电压量转化为数字量，进而产生控制量，再将控制量转化为双路PWM波；脉宽双加矩反馈回路接收双路PWM波，脉宽双加矩反馈回路产生相应的脉动电流，脉动电流加载在表头的力矩器上，力矩器产生相应的反馈力以平衡表头的检测质量块。本发明使用脉宽双加矩反馈回路，克服了脉冲加矩反馈回路动态测量范围不足的缺点，有利于提升脉宽加矩加速度传感器的测量分辨率。