一种线宽量测和问题评估的方法

摘要

本发明提出一种智能化线宽量测和问题评估的方法，包括：输入线宽量测方案，输入全部量测标识信息，输入相应线宽目标上下限和异常评估标准，完成数据收集，量测中每得到一个量测值，自动与目标上下限对比，超出的数据点被标记为问题点，根据评估标准，判断是否需增加数据收集方案，若问题点所占比例超过设定值，则生成线宽异常报告，若比例在设定值范围内，根据评估标准判断需将哪些量测标识纳入新的数据收集方案进行量测，若新得到的量测数据中还有问题点，将其标记，直到量测数据均落在目标上下限范围内，生成线宽问题和影响程度报告。本发明可减少确定线宽问题范围的时间，一次性得到线宽问题和影响程度，便于工程师判断并采取下一步处理方案。