AlNbC/AlNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺

摘要

本发明属于机械制造切削刀具领域，特别是涉及一种AlNbC/AlNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺。本发明采用非平衡磁控溅射+电弧离子镀的复合镀膜方法，直接采用AlNbC复合靶作碳源，且沉积温度控制在300℃以下，可在更为广泛的刀具或工具基体上制备。所制备的AlNbC/AlNbCN叠层复合涂层刀具，刀具基体表面沉积有涂层，所述涂层从内到外依次为：Ti过渡层、AlNbC涂层与AlNbCN涂层交替的叠层复合结构，最外层为AlNbCN涂层。所制备的AlNbC/AlNbCN叠层复合涂层刀具综合了AlNbC碳化物涂层、AlNbCN碳氮化合物涂层及叠层结构的优点，具有优良的物理机械性能，可广泛应用于钢、不锈钢、铸铁、耐热合金、钛合金等材料的粗加工及精加工。