一种具有大制作容差的超短垂直波导耦合器

摘要

本发明公开了一种具有大制作容差的超短垂直波导耦合器。该耦合器垂直方向上由上波导、间隔层和下波导构成。在传播方向上，垂直耦合器分为输入区域、耦合区域以及输出区域。在耦合区域，上波导的宽度逐渐变小，分成前段、中段和后段；前段和后段为上波导宽度快速收缩段，中段为模式转移段。本发明通过减小上下波导之间的间隔层的厚度来增大耦合系数，从而缩短耦合器的长度；在耦合区域的中段，设置合适的上波导宽度递减速率以及合适的长度，使上波导的宽度因为实际制作精度的局限产生偏差时，上波导的模式仍然能向下波导高效转移，从而实现大的制作容差。