异向性量测系统、异向性量测方法及其校正方法

摘要

本发明揭露一种异向性量测系统、异向性量测方法及其校正方法，异向性量测系统包括：径向起偏器，将入射光的偏振方向转变为径向；无偏振分光器，入射光部分穿透其穿透反射面形成部分入射光；物镜，将部分入射光聚焦至待测样品，并接收反射自待测样品的反射光后入射至穿透反射面；检偏器，接收反射光并产生输出光，输出光的偏振方向被转变为检偏器的穿透轴的方向；影像检测器，接收输出光并产生待测样品反射光强度分布图；以及运算处理器，根据待测样品反射光强度分布图求出的待测样品反射光强度分布曲线，并藉由修正琼斯运算模型拟合待测样品反射光强度分布曲线求得异向性。