法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
授权
授权
2019-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20181227
实质审查的生效
2019-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20181227
实质审查的生效
2019-03-12
公开
公开
2019-03-12
公开
公开
2019-03-12
公开
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机译: 用于生产近场光学探针,近场光学探针,近场光学显微镜,近场微加工设备和近场光学记录再现设备的方法和装置
机译: 具有近场探头的近场探头,电特性测量装置和电特性测量方法
机译: 用于执行近场光学显微镜的光学显微镜的检查单元,具有保持装置和近场探针,所述近场探针通过用激发光照射来产生光学近场,以进行样本研究