平板类光学元件环形抛光面形精调方法

摘要

本发明公开了一种平板类光学元件环形抛光面形精调方法，利用平板类光学元件在环抛过程中的热变形来调节其反射/透射面形变化，在抛光模面形保形期创造一种快速、可控的元件面形高低转化，能够大幅提升该类元件环形抛光反射/透射波前分布控制效率。本发明特别适用于热膨胀系数大、易变形的平板类光学元件，如400mm口径激光钕玻璃片状元件，有效克服了该类元件环形抛光过程中面形控制的不确定性，米量级平板类光学元件的加工精度，面形PV优于1/5λ(λ＝632.8nm)，GRMS优于1/90λ。