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一种制备有序银纳米球阵列的方法

摘要

本发明实施例提供一种制备有序银纳米球阵列的方法,所述方法包括:制备有序铝纳米碗OAB阵列模板样品;在所述OAB阵列模板样品的表面热蒸镀10nm厚的银膜;将所述OAB阵列模板样品在500℃真空下退火1h,获得有序银纳米球阵列结构。上述技术方案具有如下有益效果:(1)所制备的银纳米球阵列高度有序。(2)尺寸分布小而且结构可调。(3)无需将OAB模板转移到其他基底,因此可大面积制备有序的Ag纳米球阵列。(4)所述有序银纳米球阵列结构具有超高密度(>1010cm‑1)。(5)制备工艺简单。

著录项

  • 公开/公告号CN106282931B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南师范大学;

    申请/专利号CN201610658664.6

  • 发明设计人 张璋;曾志强;苏绍强;高兴森;

    申请日2016-08-11

  • 分类号C23C14/24(20060101);C23C14/58(20060101);C23C14/16(20060101);C25D11/12(20060101);B82Y40/00(20110101);G01N21/65(20060101);

  • 代理机构11624 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人任漱晨

  • 地址 510631 广东省广州市天河区中山大道55号

  • 入库时间 2022-08-23 10:38:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-09

    授权

    授权

  • 2017-02-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20160811

    实质审查的生效

  • 2017-02-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20160811

    实质审查的生效

  • 2017-01-04

    公开

    公开

  • 2017-01-04

    公开

    公开

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