一种基于光斑的电荷耦合器件电荷转移效率通用测试方法

摘要

本发明涉及一种基于光斑的电荷耦合器件电荷转移效率通用测试方法，该方法涉及装置是由静电试验平台、积分球光源、卤钨灯光源、会聚球面镜、样品测试板、电荷耦合器件样品、导轨、三维样品调整台、暗箱、光学准直套筒和计算机组成，将电荷耦合器件样品正对积分球光源出光口，首先进行暗场测试，计算出A、B、C三个通道暗场所有像素位置的灰度值的平均值；再进行亮场测试，计算出三个通道亮场所有像素位置的灰度值的平均值；通过计算得到B、C通道相对于A通道的增益系数；计算暗场条件下样品从三个通道输出的所有像素位置灰度值的平均值；打开卤钨灯光源进行亮场测试，计算样品连同光斑中心在内的25个像元的信号灰度值之和，最后求解出水平转移效率和垂直转移效率。本发明具有通用性，操作简单，结果准确。