法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
授权
授权
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20150325
实质审查的生效
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20150325
实质审查的生效
2015-11-04
公开
公开
2015-11-04
公开
公开
机译: 熔融挤出型薄膜成型中薄膜厚度控制的合成树脂薄膜,方法及装置
机译: 熔融挤出型薄膜成型中薄膜厚度控制的合成树脂薄膜,方法及装置
机译: 薄膜变薄中的薄膜厚度控制方法及执行该方法的系统